投资5000多万 俄罗斯计划研发全新EUV光刻机:ASML都没有
俄罗斯莫斯科电子技术学院 (MIET)现在就接下了贸工部的6.7亿卢布资金(约合5100万元人民币),也要开发制造芯片的光刻机,而且号称要达到EUV级别,但技术原理完全不同,他们研发的是基于同步加速器和/或等离子体源”的无掩模X射线光刻机。
X射线光刻机使用的是X射线,波长介于0.01nm到10nm之间,比EUV极紫外光还要短,因此光刻分辨率要高很多。
此外,X射线光刻机相比现在的EUV光刻机还有一个优势,那就是不需要光掩模版,可以直写光刻,这也节省了一大笔费用。
正因为有这么两个特点,俄罗斯要研发的X射线光刻机优势很大,甚至被当地的媒体宣传为全球都没有的光刻机,ASML也做不到。
从相关资料来看,全球确实没有能达到规模量产的X射线光刻机,不过这种技术并不是现在才有,不仅美国、欧洲研究过,国内也有科研机构做了X射线光刻机,只是生产芯片的效率跟ASML的光刻机不能比的,只适合特定场景。
不过俄罗斯在X射线及等离子之类的技术上有深厚的基础,倒是可以期待下他们在新型光刻机上能走多远。
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