为了不让荷兰卖光刻机给中国 美国操碎了心（组图）

为了阻止荷兰半导体巨头阿斯麦尔（ASML）向中国公司出售光刻机的一笔1.5亿美元交易，这届美国政府可谓操碎了心。

去年6月，国务卿蓬佩奥就在访问荷兰期间要求盟友站队。知情人士向路透社透露：蓬佩奥当时要求荷兰首相吕特阻止这笔交易，美国官员至少在四次会议中向荷兰官员施压。

7月吕特访问华盛顿时，美国副国家安全顾问库伯曼又给他一份情报报告，大谈“中国获得光刻机的可能后果”。随后，荷兰政府选择不续签ASML的出口许可。

1月6日，路透社在报道中援引三名匿名知情人士称，特朗普政府为“搅黄”ASML公司向中国公司出口极紫外光刻机（EUV）设备，从2018年起就开始对荷兰政府广泛施压。

ASML是世界上最重要的半导体供应商。光刻机则是半导体生产制造环节最重要的核心部件，其关键技术一直被ASML公司垄断。EUV光刻机则是该公司最先进的设备。

2018年，荷兰政府向ASML发放了出口许可证，允许其向一家中国公司出口一台EUV光刻机，价值1.5亿美元。

三名知情人士称，美国立即“盯上了”这笔交易。接下来的几个月里，美方官员至少四次与荷兰官员开会，讨论可否直接封杀这笔交易。

按照美国的出口管理条例，任何外国公司在向中国出口商品时，只要美国制造的零件占到25%价值，就必须向美国寻求出口许可证。

消息人士说，美国商务部对这台出口光刻机进行了审计，却发现美国零件的价值占比不到25%，不符合管理条件。

而且从商业角度考虑，ASML公司希望也推进这笔交易。2018年，来自中国公司订单占据其营收总额近20%，超过美国公司的16%，仅次于韩国公司35%。

一计不成，特朗普政府只好以“国家安全”理由向荷兰施压。光刻机被列入涉及军民两用技术产品出口的《瓦森纳协议》，荷兰也是签署国之一。

为此，2018年12月至2019年1月，美国国防部官员在荷兰驻华盛顿大使馆向对方讨论了这笔交易的“安全风险”。

去年6月，美国国务卿蓬佩奥访问荷兰，一边炒作中国“贸易不公”、5G的“安全问题”，一边要求荷兰等盟友站队。

他在记者会上说：“我们的要求是，我们的盟友、伙伴和朋友不要做任何危及我们共同安全利益，或限制我们分享敏感信息能力的事情。”

虽然没有明确提到光刻机，但知情人士称，蓬佩奥在与荷兰首相吕特会面中要求阻止这笔交易。后者在记者会上回应，虽然荷兰想要与盟国保持政策一致，但“每个国家都必须做出自己的安全决定”。

7月18日，吕特访问华盛顿，期间白宫副国家安全顾问查尔斯·库伯曼向他展示一份情报报告，内容是所谓“中国获得光刻机的可能后果”。

早在6月30日，ASML的许可证就已到期，通常需要8周时间进行审批及续签。但路透社称，吕特访问过后不久，荷兰政府决定不再续签这份许可证。ASML未出现在荷兰外交部数据库的续签名单上。

荷兰首相府发言人拒绝对此置评，称政府不会讨论单独的许可证案例。白宫以及库伯曼也没有回应置评。

11月6日，《日本经济评论》最先报道了相关交易因许可证问题被推迟发货的消息，并认为ASML成为美国政府压力下的“牺牲品”。

公司发言人摩尔斯回应，“延迟发货”仅为媒体猜测，已经申请了新的许可证，仍在等待获批。

“公司遵守的法律。法律说你需要许可证才能出口EUV，我们已经申请了许可证。”

但不论有没有EUV光刻机，ASML预计2020年向中国出售其他产品，销售额会继续增长。路透社评论，此事显示白宫对于阻止中国获得先进芯片制造能力有多么重视，也证明美国政府试图单方面限制对中国出口先进技术时，面临着多么大的挑战。

记者余鹏鲲曾提到，西方国家限制向中国出口光刻机，是我国境内半导体工艺制程始终比境外落后1-2代甚至3代的主要原因。

去年4月，武汉光电国家研究中心甘棕松团队，采用二束激光在自研的光刻胶上突破了光束衍射极限的限制，采用远场光学的办法，光刻出最小9纳米线宽的线段。该样机实现了材料，软件和零部件等三个方面的国产化，打破了三维微纳光制造的国外技术垄断。